微导纳米再度闯关科创板:主要提供ALD设备,光伏路线之争决定公司未来?

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每经记者 朱成祥 上海报道
5月14日,提供微导纳米披露了首轮问询函回复报告。设司微导纳米已不是伏路第一次闯关科创板, 2020年6月,微导公司科创板IPO申请就曾被上交所受理,纳米不过后又于2020年12月终止审核。再度争决彼时,闯关系微导纳米主动撤回上市申请。科创
2022年3月,板主备光微导纳米再度闯关科创板。在首轮问询中,上交所要求公司就科创属性等诸多问题作出回复。
微导纳米主营ALD设备,主要下游客户为光伏电池厂商。目前,光伏行业正在经历一场N型电池的变革浪潮,具体方向包括TOPCon路线、HJT异质结路线以及IBC路线。对于未来光伏行业路线的选择是否会对公司业绩带来影响等问题,《每日经济新闻》记者于5月17日致电微导纳米董秘办公室,不过电话未能接通。
微导纳米产品以ALD为主
微导纳米产品主要用于光伏产业链的中游环节,为电池片厂商提供镀膜设备,用于在电池片正面或背面镀Al2O3和SiNX,是光伏电池片生产环节的关键工艺设备。
微导纳米以原子层沉积(ALD)技术为核心,主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售,向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。
自2017年以来,PERC电池逐渐成为主流太阳能电池片技术路线。而实现PERC电池的量产,背钝化设备是其中的关键设备。PECVD和ALD正是两种最主要的背钝化技术。
不管是ALD还是PECVD,都属于薄膜沉积工艺。而薄膜沉积设备通常用于基底上沉积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层,使之具备一定的特殊性能,广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。
按照工艺原理不同,薄膜沉积设备可分为物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD)设备。
据微导纳米招股书,在光伏制造领域,PVD设备可用于HJT光伏电池透明电极;CVD设备可用于PERC电池背面钝化层、PERC电池减反层,TOPCon电池接触钝化层、减反层,HJT电池接触钝化层;ALD设备可用于PERC电池背面钝化层,TOPCon电池隧穿层、接触钝化层、减反层。
目前,光伏电池主要有两大发展方向,分别为TOPCon电池和HJT电池,不管哪种方向成为主流,均有CVD设备的用武之地。而ALD设备可用于TOPCon电池,但招股书并未提及可用于HJT电池。
当下主流光伏设备厂商中,、主要提供PECVD设备,据微导纳米首轮问询回复报告,2020年,两家公司光伏PECVD设备营业收入分别为21.58亿元、3亿元~5亿元。而微导纳米2020年营收3.13亿元,均为光伏ALD业务收入。
未来技术路线之争:设备偏重TOPCon
根据中国光伏行业协会《2020-2021年中国光伏产业年度报告》,PERC产业化生产常用的Al2O3镀膜设备产能指标中,ALD设备优于PECVD设备。捷佳伟创、Centrotherm技术类型为PECVD,产能分别为5700片/小时、6000片/小时;而理想晶延、微导纳米技术类型为ALD,产能分别为7200片/小时、10000片/小时。
图片来源:公告截图可以看出,在PERC生产中,ALD设备技术指标更高。
不过,若是未来技术路线倒向HJT电池,是否会对微导纳米产生冲击?在问询函中,上交所科创板上市委要求其说明,光伏领域的市场份额占比情况与技术难度差异,各技术路线的发展趋势及相互转换的难度,ALD 技术能否应用于新型电池技术路线,结合三类技术(PVD、CVD和ALD)的优劣势、下游技术路线变化情况、客户需求、设备成本,说明光伏领域ALD技术是否存在被取代的风险。
从订单情况看,微导纳米2021年签署3份新型高效电池产线重大销售合同,技术路线均属于TOPCon,2022年2月、3月,微导纳米又签署4份新型高效电池产线重大销售合同,一份为TOPCon,2份为HBC电池,还有一份来自珠海富山爱旭太阳能科技有限公司的N型高效电池。该公司为上市公司全资子公司,而爱旭股份倾向于发展ABC电池。
由此可见,微导纳米取得的7份重大销售合同中,没有一份与HJT电池产线建设相关。另外,微导纳米承认,设备厂商需要针对三种技术路线(PVD、CVD和ALD)的技术难点和应用领域,分别对相关工艺和产品进行设计和开发,三种技术路线之间无法直接相互转换。
公司表示,下游技术路线处于多种技术并行状态,虽然公司的ALD技术已在 TOPCon电池应用中展现出一定的优势,但如果未来其他电池技术路线的产线投资和运营成本显著下降,而公司的 ALD技术、CVD技术未能在该电池技术路线的应用上形成有效突破,则会对公司未来在光伏领域的发展造成不利影响。
不过,微导纳米也认为,目前下一代高效电池技术聚焦在N型单晶硅电池TOPCon和HJT上。当前HJT产线仍处于磨合期,由于设备投资较高、非硅成本难以快速下降的问题,虽然国内电池片厂商产能布局较多,但实际落地项目偏少。TOPCon电池在产业化过程中已获得先发优势。
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